说明
描述
设备完整不缺件,目前是4个腔,但有5个腔的安装位;
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无文件
刻蚀机
uGmni-200E
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2024
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