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说明

描述

12"设备无HDD,2018.11月下线,无下线数据;(均匀性1.811%,强度24299.68W/m2,6英寸掩模在线(右→左),Cymer激光器(ELS-7310))

文件

无文件

光刻机(12寸)

FPA-6000ES6A

Verified

分类

光刻显影

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息

状态:

Used

运行状况:

--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:

2007

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