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Chamber Only. Carina Etch Chamber. Chamber Materials: ADVANCED CERAMIC Lid Materials: AG 1000 Process Ring: QUARTZ SINGLE RING Plasma Exposed Chamber Oring: KALREZ Cathode Temperature Range: 130 TO 250C Carina Etch Swap Kit: 1 Chamber Viewport: STANDARD
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刻蚀机
Centura Carina Chamber
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分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
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