说明
描述
Dry Etch, Bx-, Cx-, E1 layers, 300mm wafers, 32nm BD/SICOH Etch
文件
无文件
刻蚀机
RLSA-H Chambers
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2011
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