说明
描述
NIKON NSR 1505 G7E Stepper, 6" R134 included (2) Carriers with (25) wafers Si-wafer with SEMI-flat 13-Slots Reticles: 90 mil Exposure field: 15-15 mm Reticle: 75 mm Integrator: 500 mW/cm2 436 nm (G-line) reduction: 5x NA: ~0.54 Coolant climate chamber: 21
文件
无文件
光刻机
NSR-1505G7E
Verified
分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1990
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