说明

描述

Equipment Make: KLA-Tencor
Equipment Model: SP 1-TBI
Wafer Size: 8,12inch
Equipment Configuration
- Windows NT, RAM 523700 KB
- SP1 SW version 3.50.2304
- Oblique Option, XY Enhancement
- 488 nm 30mW Argon – Ion Laser wavelength
-

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晶圆检测系统

SP1-TBI

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量测检测

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