说明
描述
设备完整不缺件,已翻新; Fully refurbished system for 150 & 200mm wafer Software : Window NT TFMS version: V2.3R1 Measurement tool : BPR, BPE, VAS, BB, SE, AE DUVSE (220-840nm) BPR - Beam Profile Reflectometry : still the best way to characterize dielectric films BPE
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膜厚测量设备
OP5240
Verified
分类
量测检测
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2000
物流支持
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