说明

描述

用途：薄膜测量系统型号：UV1280SE 出厂日期：2001 系统配置：目前配置为200mm晶圆尺寸处理器：H3-NR晶圆处理器,SMIF x1 钱箱搬运：SMIF 机器人：H3PRI晶圆搬运器,双端效应器夹头类型：100/150/200mm 操作员界面：轨迹球和键盘标准电脑配置： 1.CPU：奔腾III 850MHz 2.内存：256MB 设施： 1.真空：20“(510 mm)Hg@1 SCFM 2.空气：最小80-100 psi 3.排气口和配件：直径6“(150mm),柔性软管,每分钟拉

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薄膜测量系统

UV-1280SE

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量测检测

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晶圆尺寸:

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2001

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