说明
描述
设备完整不缺件,目前在亚洲; ISO蚀刻 晶圆尺寸200 mm Fab截面蚀刻 软件版本1.5版 CIM-SECS 工艺CMOS 主系统LAM 4420 ETHER 1 处理器系统谐波臂2 工厂接口SMIF 2 LL泵1 TCU 2080 1 AC机架1 PC泵1
文件
无文件
等离子刻蚀机
RAINBOW-4420
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1994
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