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8"-12"已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HDD上海价; SMIF/FOUP CYMER ELS 7600激光器 AOM激光器 准分子激光器 LMA模块 底部模块 MCM(机柜模块) 网格,6“ 左直列 晶圆载物台 网状阶段 晶圆搬运器 网格处理程序 木炭过滤器 侧通道鼓风机 空气控制柜(ACC) (2) 覆盖面板 框架部件：MB、Mcab、RH WH 流程模块： 成分/类型 PM1/光源 PM2/对齐 PM3/阶段 内阁 MDC LCWC MCWC 排气柜 包括备件 不包括硬盘驱动器(HDD) 操
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光刻机
AT850C
Verified
分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2004
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