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设备完整不缺件,原来的晶圆是12英寸,现在修改后用ATP数据修改为6英寸,已经运行了15K晶圆,带循环晶圆条件,设备目前在亚洲.
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光刻机
NSR-SF140
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分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
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