说明
描述
设备型号：2300 Exelan Flex 45 类型：ICP蚀刻机 晶圆尺寸：12“ 设备配置： -有12条输气管线 -维持在纳米图案化转移能力和特别是嵌段共聚物、石墨烯和成型纳米结构蚀刻方面的活动 -C4F8、CF4、O2、Ar、CO、CO2、O2、CHF3、HBr、N2、SF6、H2 -单室自制手动
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刻蚀机
2300 Exelan Flex45
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分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
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