说明
描述
设备在台湾,已接电测试完毕,ψ330mm tray,ICP单制程腔体,有规格书;
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无文件
干法刻蚀
NE-950 ICP
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2010
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