说明
描述
完整安装,包括支持设备,如气柜,泵,冷却器等,可容纳100mm晶圆片,可升级到150或200mm;
文件
无文件
刻蚀系统
100 ICP
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2022
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