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说明

描述

6/8"设备完整不缺件,含安装调试+6个月质保; 用于在6/8英寸Si片,Sic片激光打标后擦洗表面颗粒及沟槽腐蚀后去除颗粒,2个清洗旋转单元,毛刷,CO₂高压水,超声波清洗;

文件

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涂胶显影机

MARK7

Verified

分类

光刻显影

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息

状态:

Used

运行状况:

--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:

1997

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