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12"设备完整不缺件,在欧洲; Block 2:- 4x Coater Unit (IC Cup) - 4 Resist Lines / coater Unit - 11 Resist pumps "RGEN01" with Entegris Filter Manifold - 1x RRC / EBR nozzle / coater unit - Back Rinse Nozzle standard- 2x adhesion (ADH) unit- 5x chill pla
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步进式光刻机
FPA-5500iZ+
Verified
分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
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产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2004
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