说明

描述

6"设备完整不缺件; 电压:208/230+10% VAC,单相; 功耗:1.1kVA; 电源频率:50/60Hz; 最大功率:2.3kVA; 晶圆尺寸:6英寸和8英寸晶圆; 晶圆厚度:350m~1100m; 晶圆载具:2FUP6和8晶圆; 映射微光学传感器SECS-GEM接口; 压力:100psi/689KPa(土10%范围); 流量:2SCFM/80L/min(士10%范围); AMC:挥发性有机化合物(VOC)的最大浓度必须小于150ng/; 阴离子必须小于14ng/,阳离子必须小于10ng/; 湿

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表面缺陷检测系统

8520

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量测检测

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