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设备完整不缺件,无尘室关机状态,100KV; 配置清单: 1. Chiller 2 set 2. Dry pump 1 set 3. UPS 1 set 4. Main body
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电子束光刻机
JBX-8100FS G3
Verified
分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2024
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