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RC1: SiCx, RC2:Aurora2.7
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化学气相沉积
Dragon 2300
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2003
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