说明
描述
2 Port, 1xchamber, GAS : H2, N2, O2 / Steam process
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退火炉
AST3000plus
Verified
分类
氧化扩散
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2003
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