说明
描述
a) Post-Etch b) Backside/Bevel Etch & Clean Handling: a) Cassette Interface: Smif INX2200 b) Swivel Lever: Backside Handling with ECO gripper Process Module a) Chuck Type: Pin Chuck no undercutt Environment:
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湿法处理设备
SP-201
Verified
分类
清洗设备
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
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