说明
描述
2C1D, 1HMDS, 3HP, 1CP, Specification: 1. 8inch Si Wafer, 2. Coating Uniformity: < 1.0%, 3. Spin RPM: 0 ~ 6000 rpm, 4. max. Accuracy: 1 rpm, 5. Acceleration: 10~30000 rpm/s, 6. Temp Range: H.P - 60~250℃(±0.5), C.P - 20~25 ℃(±0.2), HMDS 60~200℃(±0.6)
文件
无文件
涂胶显影机
Gamma
Verified
分类
光刻显影
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2011
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