说明
描述
300mm设备完整不缺件, 5个Asher/蚀刻室,2个冷却室,集成传输模块,迷你环境晶圆加载模块(EFEM);
文件
无文件
干刻蚀等离子机
HS-9050
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2019
物流支持
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