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说明

描述

设备完整不缺件,用于300毫米晶圆上的65纳米工艺控制,具有2.0纳米分辨率和每小时高达33片晶圆的吞吐量(每片晶圆20个测量点);

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S-9380

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分类

量测检测

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息

状态:

Used

运行状况:

--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:

2007

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