说明
描述
EFEM, TM, 3x DPS2 Poly; 1x Axiom, AC Rack, Side Storage, EE-EAS-12
文件
无文件
等离子体刻蚀设备
Centura DPS2 Poly
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2007
物流支持
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