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In-let type, Chemical supply unit, Wafer transfer unit, Monitor rack
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化学机械抛光
AS2000 CMP
Verified
分类
CMP设备
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2000
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