说明
描述
EFEM: ATM RORZE(RA7L018) Robot, Loadport: 3 x RORZE(RV201) TM:NIDEC SANKYO ROBOT, 2 x Process Chamber 4 x MKS RPS System, 4 x MKS Astex FI20160-1, 4 x ENI-NOVA-25A
文件
无文件
去胶机
Tera 21
Verified
分类
刻蚀
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2008
物流支持
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