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描述
2x Load port( Brooks, Brooks Robot&Aligner, Edward TMP, Varian ion pump, ICA Dry Cool(OXIFORD)
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无文件
电子束缺陷再检测
EDR-5210
Verified
分类
量测检测
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2010
物流支持
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