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立式扩散炉
氧化扩散
位置:国内
Year: --
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扩散炉
高温烧结炉
Year: 1997
Year: 1989
退火炉
Year: 1983/1985/
立式低温炉
位置:
Year: 1991.7
Year: 1988
Year: 1990
卧式炉