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涂布机
フォトリソグラフィ・現像
所在地:国外
Year: --
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涂胶显影机
光刻机
分步投影光刻机
Year: 2000
步进式光刻机
涂胶显影机(2C4D)
紫外线曝光机
步进扫描式光刻机