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外延设备
薄膜沉积
位置:国内
Year: --
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蒸发台
化学气相沉积台
化学气相沉积设备
气相沉积设备
溅射台
位置:国外
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Year: 2007
Year: 2006
Year: 2010
设备
薄膜沉积设备
电子束蒸镀机