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等离子化学气相沉积
薄膜沉积
位置:国外
Year: --
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设备
位置:国内
Year: 2019
镀膜机
蒸发台
Year: 2006
化学气相沉积设备
多腔溅射设备
位置:
外延沉积
磁控设备
溅射台
Year: 1985/1996
化学气相沉积
电子束蒸发系统
Year: 2013
Year: 1996