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晶圆传输系统
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晶片转移机
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位置:国外
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全自动上下料机
倒片机
自动传片机
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轨道机
Year: 1989
Year: 1995
Year: 1996.12
电源设备
通信设备
管理模块
传片装置
储物柜(N2保护)