说明
描述
1x PC, 3x PVD (Dual Target)
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无文件
气相沉积
FC7100
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2011
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