叶片式溅射设备
说明

描述

Reflow x 1, Ti/TiN LTS x1, Degas x 1, Ti x 1, Al x 1 Cryo Pump: Cryo-T8PN w/ RS5Refrigerator x 4set Turbo Pump:TMP 202LM x1set

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分类
薄膜沉积

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息
状态:
Used

运行状况:
--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:
1996

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