说明
描述
Axcelis Optima HDxT Roughing Pumps: Edwards IGX100L Edwards iGX100M Edwards iGX600M Cryo Pumps: Qty (2) Brooks: 320FE Qty (1) Brooks: 250FE Turbo Pump TP1: Edwards STP-XA2703CV TP2: Edwards STP-A1303CV Chillers: Affinity J Chiller Model: GWN-ZRMK
文件
无文件
离子注入机
Optima HDxT
Verified
分类
离子注入
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2011
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