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描述
Capsule (Cleanning Chamber)x4, ECD Chamber (CDH)x6, Loadport (Vendor Semitool)x3, Process Robot HT (Vendor Semitool) , Transfer Robot HT (Vendor Semitool)
文件
无文件
电化学沉积
Raider ECD310
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2006
物流支持
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