说明
描述
VMM-56-002, 2 boats, SiH4, PH3, CIF3, N2
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扩散炉
Alpha-303i
分类
氧化扩散
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
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