说明
描述
3 Twin(HARP USG, RPC_FI80131), FI(TDK_LP x4ea, OS_IBM306M)MFC: Unit125, NF3 15000 cc, Ar 15000 cc, N2 5000 cc, O2 30000 cc, HE 3000 cc, TEOs 7g/min
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化学气相沉积设备
Producer GT
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2011
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