说明
描述
3x TDK TAS300 Load port, 2x Chabmer, 2x Blower,
文件
无文件
外延炉
Helios
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2009
物流支持
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