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说明

描述

8"设备完整不缺件(爱发科),有3个腔,1个刻蚀腔+2个溅射腔,原来是做金和铜的;

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溅射台

SME200

Verified

分类

薄膜沉积

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息

状态:

Used

运行状况:

--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:

2003

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