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在购热机 6" 单片溅射;4个靶位(Ti/AL/Wsi);WPH=2
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溅射台
M2i
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分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
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--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1995.7
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