说明
描述
设备完整不缺件,23寸源; 真空室:SUS304,Ф1550*1800mm 工件架:Ф1400 光学膜厚控制:HOM2 光学膜厚监控仪:波长范围:350nm to 1100nm|反射式 蒸发源:双枪 离子源:17寸射频源 排气系统:光驰镀膜机泵组一套 电源:3相,200v,50/ 60Hz,约120KVA 水流量:180升/分以上 空气压力:0.5MPa以上 重量:约11000kg
文件
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光学真空镀膜机
OTFC-1550
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2015
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