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6"BPSG回流工艺,1100℃±1℃,250片/LOT,在线热机;
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扩散炉
Horizontal Furnace
Verified
分类
氧化扩散
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1985
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