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描述

6"单片溅射,4个靶位(Ti/AL/Wsi),WPH=25,在线热机;

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溅射台

M2i

Verified

分类

薄膜沉积

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息

状态:

Used

运行状况:

--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:

1995.7

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