说明
描述
1台主机+IMP舱室+2个舱室+1台EFEM;
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无文件
气相沉积设备
Endura CL
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1994
物流支持
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可用
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