薄膜沉积设备
说明

描述

8",在线热机2台,支持3种target,目前靶材使用Si Nb;

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分类
薄膜沉积

上次验证: 11 个月前

产品主要详细信息
状态:
Used

运行状况:
--

产品编号:

晶圆尺寸:

Year:
2018

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