说明
描述
6"PVD System, Can be converted to 8" Chamber 1: AlSiCu Chamber 2: Tin 101 Chamber 3: Ti/Tin Chamber 4: Ti/Tin Chamber 5: Paste wafer Chamber A: Pre-clean Chamber D: Degas CTI-CRYOGENICS 8F (On-Board) Cryo pump (3) 9600 Compressors
文件
无文件
气相沉积设备
Endura 5500
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1996
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