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设备完整不缺件,台湾富临1米2腔体,在无尘室没有拆机,坩埚4个*40cc,3个镀锅,电子枪+热阻式;
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无文件
蒸发台
FU-20 PEB-RH-1200
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2007
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