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描述
NeXT x 3Ch(ILD HDP)[HF_Apex10013, LF_PDX8000&5000, RPS_MKS, TMP_Mag2000C], Brooks_Loadportx3
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等离子化学气相沉积设备
C3 Speed NeXT
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2004
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